微量氧分析儀是一種常用的分析儀器，分為兩種分析原理：分別為燃料電池法微量氧分析儀和氧化鋯微量氧分析儀。
在進行氧含量分析尤其是微量氧分析時，由于空氣中氧含量高達21％，故而如果處理不當極易造成對樣品的污染和干擾，出現分析結果數據不正確。下面分析幾點影響微量氧分析儀測定的因素：
1．泄漏。微量氧分析儀初次啟用前必須嚴格檢漏，只有在嚴密不漏的前提下才能獲得準確的數據結果。任何連接點，焊點，閥門等處的不嚴密，將會導致空氣中的氧反滲進入管道及氧分析儀內部，從而得出含氧量偏高的結果。
2．污染。在重新使用儀器時，首先要確認連接氧分析儀的取樣管路時是否漏入空氣，將漏入的空氣吹除干凈，盡量不使大量氧氣通過傳感器。
3．管道材質的選擇。儀器管道的材質及表面粗糙度也將影響樣氣中氧含量的變化。一般不宜用塑料管，橡膠管等作為連接管路。氧氣微氧分析儀通常選用銅管或不銹鋼管，對超微量分析（指＜0.1ppm）則必須用拋光過的不銹鋼管。
4．氣路系統的簡化及潔凈。要求必須有效排除氣路上的各種管件，閥門，表頭等中的死角對樣氣造成的污染。因此，應盡可能簡化氣路系統，選用死角小的連接件等。避免使用水封，油封及臘封等設備，防止溶解氧逸出造成污染。只有這樣才能保證系統潔凈，所得數據準確。
